Shadow Ring
Focus Ring
Lower Liner
Edge Cover Ring
본문
Product Info
반도체 장비 고객社의 식각 및 증착 장비에 사용되는 Chamber Parts를 제작 및 가공합니다.
Etching & CVD 공정에서 사용되는 200mm & 300mm Ring Type의 Quartz 제품과
다양한 형태의 Disk 와 Plate들이 있습니다.
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KOR
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반도체 장비 고객社의 식각 및 증착 장비에 사용되는 Chamber Parts를 제작 및 가공합니다.
Etching & CVD 공정에서 사용되는 200mm & 300mm Ring Type의 Quartz 제품과
다양한 형태의 Disk 와 Plate들이 있습니다.
